中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心內(nèi)的兩款國儀量子掃描電鏡

近日，中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心新安裝了國儀量子自主研制的首臺超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試，即將投入試運行。

PART.1 技術(shù)指標    

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（Super Tunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

儀器特點

·超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

·樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

·高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

·最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求

PART.2 應用案例