全國(guó)人大代表、中國(guó)四聯(lián)儀器儀表集團(tuán)有限公司董事長(zhǎng)向曉波在2020年全國(guó)兩會(huì)期間建議，大力發(fā)展我國(guó)自主半導(dǎo)體MEMS傳感器芯片核心技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化。

向曉波說(shuō)，MEMS半導(dǎo)體傳感器已成為“卡脖子”器件，嚴(yán)重制約著我國(guó)工業(yè)裝備安全自主可控發(fā)展。

根據(jù)國(guó)家創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略整體部署，結(jié)合其多年對(duì)MEMS半導(dǎo)體傳感器生產(chǎn)研發(fā)的實(shí)踐探索，向曉波對(duì)發(fā)展我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)提出如下建議：

第一，做好產(chǎn)業(yè)發(fā)展的頂層設(shè)計(jì)。MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展非常需要國(guó)家的宏觀規(guī)劃和指導(dǎo)，建議加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì)，將MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)作為一個(gè)單獨(dú)的產(chǎn)業(yè)加以研究，出臺(tái)有戰(zhàn)略規(guī)劃、有實(shí)現(xiàn)路徑、有推進(jìn)實(shí)施機(jī)構(gòu)、有聯(lián)動(dòng)機(jī)制的行動(dòng)方案和發(fā)展路線圖，規(guī)劃優(yōu)先發(fā)展的重點(diǎn)方向，部署前瞻性研究，形成政府導(dǎo)向、市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)的長(zhǎng)效工作機(jī)制。

第二，設(shè)立跨國(guó)及國(guó)家級(jí)研發(fā)項(xiàng)目。組織遴選一批符合實(shí)現(xiàn)路徑的重點(diǎn)項(xiàng)目，設(shè)立重大專項(xiàng)，從國(guó)家、行業(yè)、地方層面給予持續(xù)的資金和政策支持，對(duì)MEMS傳感器的自主設(shè)計(jì)、工藝、制造等方面加大扶持投入。通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作以及國(guó)際合作，提高我國(guó)MEMS技術(shù)研發(fā)與自主創(chuàng)新能力。

第三，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供資金扶持，將MEMS列入“政策性”補(bǔ)助產(chǎn)業(yè)，出臺(tái)相關(guān)財(cái)稅補(bǔ)助優(yōu)惠政策，使從事MEMS研發(fā)制造的企業(yè)可向相關(guān)機(jī)構(gòu)申請(qǐng)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展補(bǔ)助。同時(shí)，出臺(tái)相關(guān)支持政策，支持國(guó)內(nèi)企業(yè)開展MEMS傳感器領(lǐng)域的國(guó)際合作，包括技術(shù)引進(jìn)、公司購(gòu)并、智力引進(jìn)等。在國(guó)家重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目中，以政府采購(gòu)、首臺(tái)套應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)鏈合作創(chuàng)新等政策，大力鼓勵(lì)、支持集成應(yīng)用廠商購(gòu)買使用國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器及系統(tǒng)產(chǎn)品。借鑒集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，引導(dǎo)各界社會(huì)資本，設(shè)立MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)投資基金，鼓勵(lì)參與MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新。

考慮到MEMS對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同制造能力要求較高，向曉波還建議，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新，建立研發(fā)與終端消費(fèi)產(chǎn)品一體化的協(xié)同發(fā)展體系，形成以技術(shù)開拓市場(chǎng)、市場(chǎng)促進(jìn)技術(shù)能力提升的循環(huán)發(fā)展模式，建立公共服務(wù)信息平臺(tái)，建立產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)合培養(yǎng)模式。